面板：8 mm厚安全钢化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择)

尺寸：1123mm(L) x 839mm(H)

硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择)

口径 220 mm, O型圈密封

材料：丁基橡胶

厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供选择)

检漏依据 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测，按照一级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。

自动去除 H2O 和 O2

单净化柱系统，自动再生（可选GP200双净化柱）

密闭的气体循环管路

工作气：N2、Ar 、He（纯度≥99.999%）

再生气：H2占5%—10%，其余的为工作气（纯度≥99.999%）

规格：旋片真空泵,  配带油雾过滤器, 带气镇控制

流量：12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供选择)

无油高速风机

风量：80 m³/h

检漏依据 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测，按照1级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。

600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H）

不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm

< 1 x 10-2 mbar

不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm

< 1 x 10-2 mbar

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-1000 ppm

GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-500 ppm

GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter

材料: 不锈钢1.4301 (US type 304), 厚度 3 mm

内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

优质活性炭

风机从FFU项部(闭合回路)，将气体吸入并经初、高效过滤器过滤后的洁净气体送回箱体；

R404环保型制冷剂，原装进口

优异的气体均匀分布性能

风速可以调节

过滤效率99.999%

箱体内

≤1ppm

ISO9001认证、CE认证、UL认证(如需相关认证，需另外收费)