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首页 > 产品一览 > 气体净化系统 > 9N系列-高性能纯化器
系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去除到1ppb以下，并且在内表面电化学抛光的316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。
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NPP系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去除到1ppb以下，并且在内表面电化学抛光的316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。
常温下使用
流量范围1-2000slm
出口气体各杂质含量小于1ppb
内置0.003微米316L SS过滤器
316L SS EP纯化罐，100%经过氦检漏
可配置两阀、三阀和四阀等阀门组件
可以由原厂再生
CE认证
使用成本低
产品应用
集成电路制造
半导体分立器件制造
硅片、衬底、外延片生产
LED、激光器制造
高效太阳能电池生产
光纤预制棒生产
众多半导体工艺设备配套
超高纯气体、混合气体和标准气体生产
吹扫气体、载气及零点气体纯化
大学和研究所等科研机构产品研发
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