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晶圆传输系统

Recorder return

12寸半导体设备前端模块 EFEM 12寸 Lamina Series 300mm Wafer EFEM

从2000年初开始提供Lamina系列的晶圆sorter /EFEM,在全球范围内安装了近300多台晶圆sorter。 Fortrend拥有并生产所有关键部件,如robot、SMIF开合器、晶圆校准器、ME和控制软件。Fortrend提供标准的sorter配置,也可进行定制。Fortrend的晶圆Sorter经过现场验证,高通量且可靠,在价格…

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概 要

晶圆sorter是一种经过现场验证的高通量、可靠的分选系统,在价格和性能上具有很强的竞争力

比一级(ISO-3)洁净

灵活的ID读取系统符合SEMI M12, M13,M1.15

单臂和双臂机器人的灵活配置

统一的sorter框架,支持200mm和300mm的应用程序,允许在200mm和300mm之间轻松转换(升级),双端口,3端口和4端口配置

可选RFID/智能标签/条形码批次跟踪系统

可选200/300mm晶圆混合分选系统

可选电源中断UPS和Raid-5数据库保护

TUV公司认证S2/S8/S9/S22/CE(见证书)

300mm输送设备完全满足SEMI标准(包括但不限于E84/E47.1/F47)


技术参数

配件清单

产品尺寸

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