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定制手套箱

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Etelux半导体应用手套箱

配备四路配气系统,流量计精准控制; 每个箱体配备一个GE露点仪Moisture Target™ Series 6与VeriDri探头,精准检测水分情况。 主箱体配置EC913 SYSTECH(稀仕代); 配置两套真空独立烘箱,烘箱为七层设计,各层之间独立精准控温,温度±1℃; 内外门互锁装置,结构严谨精密…

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概 要

配备四路配气系统,流量计精准控制;

每个箱体配备一个GE露点仪Moisture Target™ Series 6VeriDri探头,精准检测水分情况。

主箱体配置EC913 SYSTECH(稀仕代);

配置两套真空独立烘箱,烘箱为七层设计,各层之间独立精准控温,温度±1℃;

内外门互锁装置,结构严谨精密;

每节箱体之间采用气缸压紧与释放来进行开启;

配备声光报警功能。



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配件清单

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