产品特点

多工位手套箱净化防护系统

水氧含量≤0.1ppm

德国宝德电磁阀模块化设计，优良的密封性能

欧洲工艺要求

宽压力范围运行到10 -9 Torr

低排气

优异的薄膜均匀性和沉积速率

高效的溅射靶材利用率

优异的目标管理机制消除了对热膏，管理人员等的需要。

紧凑型，模块化磁体阵列

磁铁未暴露于真空、磁铁未暴露于冷却水中

靶材更换期间，冷却水不会暴露在真空室内

不平衡的操作和带磁材料的兼容性是可用的

全系列配件（通气，烟囱，百叶窗，集群阵列等）

定制溅射源配置可用

产品应用

半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。