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手套箱厂家-伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司欢迎您！公司电话：400 086 8156
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Atto10是经过验证的，坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作，具有广泛的沉积仪器选配，包括：电子束蒸发器，射频和直流溅射源，低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用，如 石英晶体监测，高真空负载锁和加热，冷却，旋转或静态…
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产品特点
多工位手套箱净化防护系统
水氧含量≤0.1ppm
德国宝德电磁阀模块化设计，优良的密封性能
欧洲工艺要求
宽压力范围运行到10 -9 Torr
低排气
优异的薄膜均匀性和沉积速率
高效的溅射靶材利用率
优异的目标管理机制消除了对热膏，管理人员等的需要。
紧凑型，模块化磁体阵列
磁铁未暴露于真空、磁铁未暴露于冷却水中
靶材更换期间，冷却水不会暴露在真空室内
不平衡的操作和带磁材料的兼容性是可用的
全系列配件（通气，烟囱，百叶窗，集群阵列等）
定制溅射源配置可用
产品应用
半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。
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