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真空镀膜

Recorder return

ATTO10-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

Atto10是经过验证的,坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作,具有广泛的沉积仪器选配,包括:电子束蒸发器,射频和直流溅射源,低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用,如 石英晶体监测,高真空负载锁和加热,冷却,旋转或静态…

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全国服务热线400-086-8156

概 要

产品特点

多工位手套箱净化防护系统

水氧含量≤0.1ppm

德国宝德电磁阀模块化设计,优良的密封性能

欧洲工艺要求

宽压力范围运行到10 -9 Torr

低排气

优异的薄膜均匀性和沉积速率

高效的溅射靶材利用率

优异的目标管理机制消除了对热膏,管理人员等的需要。

紧凑型,模块化磁体阵列

磁铁未暴露于真空、磁铁未暴露于冷却水中

靶材更换期间,冷却水不会暴露在真空室内

不平衡的操作和带磁材料的兼容性是可用的

全系列配件(通气,烟囱,百叶窗,集群阵列等)

定制溅射源配置可用

产品应用

半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。

规格表

选 件

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